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爆款keithley/吉时利4200A-SCS参数分析仪

美国keithley/吉时利4200A-SCS参数分析仪

产品:keithley/吉时利
产品型号:4200A

产品名称:参数分析仪

产品产地:美国
Keithley吉时利4200A-SCS参数分析仪

使用 4200A-SCS 加快半导体设备、材料和工艺开发的探索、可靠性和故障分析研究。 业内性能参数分析仪,提供同步电流-电压 (I-V)、电容-电压 (C-V) 和超快脉冲 I-V 测量。

4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成 的参数分析仪,可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V) 和超快速脉冲式I-V 特性。作为性能高的参数分析仪, 4200A-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。

4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的软件提供了清楚的、不折不 扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时 可以投入使用的应用测试,Clarius Software 可以更深入地挖掘 研究过程,快速而又满怀信心。

4200A-SCS 参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配 置,不管是现在还是未来,都可以随时对系统进行升级。通过 4200A-SCS 参数分析仪,通往发现之路现在变得异常简便。

主要性能指标

I-V 源测量单元(SMU)

  • ± 210 V/100 mA ± 210 V/1 A 模块
  • 100 fA测量分辨率
  • 选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率
  • 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量
  • 四象限操作
  • 2 线或 4 线连接

C-V 多频率电容单元(CVU)

  • AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)
  • 1 kHz - 10 MHz 频率范围
  • ± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源,可以扩展到± 210 V(420 V 差分)
  • 选配 CVIV 多通道开关,在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)
  • 两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道
  • 200 MSa/s5 ns 采样率
  • ±40 V (80 V p-p)±800 mA
  • 瞬态波形捕获模式
  • 任意波形发生器 Segment ARB® 模式,支持多电平脉冲波形,10 ns 可编程分辨率

高压脉冲发生器单元(PGU)

  • 两个高速脉冲电压源通道
  • ±40 V (80 V p-p)± 800 mA
  • 任意波形发生器 Segment ARB®模式,支持多电平脉冲波形,10 ns 可编程分辨率I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)
  • I-V测量和 C-V 测量之间简便切换,无需重新布线或抬起探针
  • C-V测量移动到任意端子,无需重新布线或抬起探针远程前端放大器/ 开关模块(RPM)
  • I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换
  • 4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安
  • 降低电缆电容效应

4200A-SCS 仪器和模块

型号

说明

主要测量

范围

测量分辨率

4200-SMU

中等功率源测量单元

DC I-V
超低频率 C-V
准静态 C-V

±100 mA, ±210 V

0.2 mV, 100 fA

4210-SMU

高功率源测量单元

±1 A, ±210 V

0.2 mV, 100 fA

4200-PA

远程前端放大器模块

扩展所有 SMU 的电流范围

0.2 mV, 10 aA

1 kHz - 10 MHz

4210-CVU

电容电压单元

AC 阻抗
C-V, C-f, C-t

±30 V 内置DC 偏置装置(60 V 差分)
使用 SMU 扩展直流偏置电压至

-

±210V

4200A-CVIV

I-V/C-V 多通道
开关模块

DC I-V C-V 自动切换

-

-

脉冲式 I-V
SegmentARBR®
多电平脉冲
瞬态波形捕获

±40 V (80 V p-p), ±800 mA
200 MSa/s
同时测量电流和电压

4225-PMU

超快速脉冲测量单元

2048 个段

75 nA

20 ns 脉宽仅输出时

60 ns 脉宽输出同时测流时

4225-RPM

远程前段放大器 /
开关模块

DC I-VC-V、脉冲式 I-V
间自动切换

扩展 4225-PMU 单元的电流范围

200 pA

4220-PGU

高压脉冲发生器单元

脉冲式电压源
Segment ARB® 多电平脉冲

±40 V (80 Vp-p)
2048
个段

-

接地单元

内置低噪声接地单元

-

三同轴连接 : 2.6 A
接线柱 : 9.5 A

-

提取或测量参数列表实例

CMOS 晶体管

Id-Vg, Id-Vd, Ig-Vg, Vth, Vtlin, Sub-Vt, Rds-on, breakdown, capacitance, QSCV, Low-frequency CV, self-heating reduction and more

BJT

Ic-Vc, Vcsat, Gummel plot, capacitance, βF, αF

非易失性存储器

Vth, endurance test, capacitance

纳米尺寸器件

Resistance, Id-Vg, Id-Vd, Ic-Vc

分立元器件

Id-Vg, Id-Vd, Ic-Vc, Vfdiode, Vrdiode, capacitance

材料

Van der Pauw, 4-point collinear resistivity, Hall Effect

光伏器件

Iforward, Ireverse, HiR, LoR

功率器件

Pulsed Id-Vg, pulsed Id-Vd, breakdown

可靠性

NBTI/PBTI, charge pumping, hot carrier injection, V-Ramp, J-Ramp, TDDB



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